表面污染检测系统用于板状元件生产过程中,测试工件表面沾污(α射线)水平,具有手动/全自动测量、精度高、检测范围大等特性。
检测下限<5μg/㎡,置信概率75%
根据用户需求定制
3min
针对为20%的铀源(活性区Φ70mm),2π探测效率≥35%
≤3cpm(24h)
≤10%(24h)